硅烷化學(xué)氣相沉積法是一種具有競(jìng)爭(zhēng)力的多晶硅生產(chǎn)方法，其能耗及原料消耗指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該方法實(shí)現(xiàn)了多晶硅生產(chǎn)工藝閉路循環(huán)，中間物料如四氯化硅、二氯二氫硅可循環(huán)利用，具有轉(zhuǎn)化率高、能耗低、成本低、污染少等優(yōu)點(diǎn)。
2012年7月，黃河公司開始進(jìn)行硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝研究科技項(xiàng)目研究工作，通過(guò)對(duì)硅烷制備和硅烷法生產(chǎn)多晶硅的主要技術(shù)的研究并結(jié)合公司現(xiàn)有多晶硅裝置情況，對(duì)硅烷法的工藝物料、輔助系統(tǒng)、自控儀表、安全、三廢處理、裝置布置、人員配備、項(xiàng)目工期、操作模式和投資效益估算等進(jìn)行了詳細(xì)的研究，最終完成了硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝研究科研項(xiàng)目。
